机械行业半导体零部件：国产替代加速，优质厂商前景可期
这份长江证券的报告主要分析了半导体零部件行业的发展前景，特别是国产替代加速的背景下，优质厂商的机遇。报告的核心内容可以总结如下：
**1. 半导体零部件产业概览**
* **行业地位：** 半导体零部件处于集成电路产业链上游，连接原材料和半导体设备，兼具原材料和设备属性，并直接影响设备性能。
* **品类众多：** 零部件按用途可分为流体管理、过程测量、光学系统、电源转换、热管理等，按材料可分为硅、陶瓷、金属等，按服务对象可分为精密机加件和通用外购件，涵盖范围广泛。
* **市场驱动力：** 设备市场规模的增长直接拉动了零部件的需求，增量市场主要由新设备零部件采购驱动，中国市场占比持续提升。
**2. 国产化趋势与挑战**
* **市场空间：** 2020年全球半导体零部件市场规模约406亿美元，关键工艺设备零部件市场规模大。
* **国产化壁垒：** 技术壁垒主要体现在加工工艺、原材料、设计等方面，尤其是在真空泵、气体流量计（MFC）等高精度、高可靠性零部件上。
* **验证周期：** 零部件的验证周期长，通常需要2-3年，包括质量体系认证、工艺能力认证和性能指标认证。
* **政策影响：** 美国对中国半导体行业的限制政策，促使国产替代加速，加速国内供应链的构建。
**3. 关键零部件分析**
* **市场格局：** 全球半导体零部件市场集中度不高，欧美日企业占据主导地位，CR10约为50%。
* **主要品类：** 报告重点分析了溅射靶材、工艺和结构类零部件、真空类零部件、气体零部件、石英制品、陶瓷零部件等。
* **溅射靶材：** 认证壁垒高，是限制国产化的关键因素。
* **工艺和结构类零部件：** 加工技术共通，但制造技术要求高。
* **真空类零部件：** 代表产品为真空泵，欧洲企业占主导地位。
* **气体零部件：** 国产化率低，具备替代进口的客观条件。
* **石英制品：** 原材料和加工能力是国产化的主要限制。
* **陶瓷零部件：** 关键零部件国产化难度较高，如陶瓷加热器、静电卡盘等。
* **国产化优势：** 国产零部件在交期和本地化服务上具备优势。
**4. 投资风险**
* 下游客户验证不及预期。
* 晶圆厂扩产不及预期。
* 海外限制政策进一步加码。
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